精卫 200 是费勉科技全新自研的精卫系列旗舰产品,专为原位 / 准原位 XPS 表征测试设计打造,可以增配Auger/UPS/HAXPES。
设备搭载超高真空系统,具备超高分辨性能,深度匹配前沿基础研究场景。
系统拥有行业顶尖的综合性能,搭配多元化拓展选配模块,功能配置全面丰富,可一站式满足极端条件下的科研需求。
支持与各类原位样品制备设备灵活联动、无缝对接,高效赋能基础材料、功能薄膜、工艺改性等领域的机理研究与实验探索,为前沿基础科学研究提供核心硬件支撑。
| 提供各类极端条件和超高分辨率 | 支持 Flag Type 样品以及配套的真空互联模块 |
| 标配ISS和REELS,丰富功能拓展模块和原位模块 | 可选配Auger/UPS/HAXPES等模块 |

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