泰坦系列 Titan 300 是费勉仪器完全自主研发的针对大工件先进表面分析仪器，解决了传统 XPS 设备对样品尺寸的限制。
设备采用全新设计理念，实现分析空间与样品空间解耦，精准解决产业用户超大工件分析的核心痛点，特别适用于半导体研发，航天军工质量控制,特种光学的失效检测以及文物考古等领域。
除了标准的Titan300型号外，本产品也可按照客户需求定制适应不同尺寸工件的非标产品，具备优异兼容性与完备专业配置选项，
可精准解析材料表面化学成分、元素价态与深度分布信息，覆盖科研前沿探索到工业质量检测全场景需求，助力中国智造向高端化升级。
| 优异 XPS 分析性能 | 高度自动化与易上手的操作软件 |
| 兼容 12 英寸晶圆 | 极致稳定性与可靠性 |
| 通过 SEMI S2 认证 | |
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