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真空磁螺杆驱动(MVSD100)

真空磁螺杆驱动通过交变磁场穿透隔离套,电机驱动螺杆轴旋转,带动磁螺母沿螺杆轴向平稳进给。用于半导体、真空镀膜、超高真空样品台场景。

规格说明
  磁驱动  适用于10-11mbar超高真空环境 最高烘烤温度:150°C
  材质超高真空兼容材料  升降行程:12mm/25mm/50mm  可以任意方向安装
  可锁定位置  可接受定制 


规格参数
品名真空磁螺杆驱动(  MVSD100 )
安装法兰CF100
法兰

尺寸

毫米152
英寸6.0
A 行程(mm)500
1000
B 总长(mm)8801380
C 总长(mm)1361236
最大推力(N)250N
重量 (kg)10kg13kg
型号
MVSD100L500ALMVSD100L1000AL


产品尺寸

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标签: 超高真空MBE
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