真空磁螺杆驱动通过交变磁场穿透隔离套,电机驱动螺杆轴旋转,带动磁螺母沿螺杆轴向平稳进给。用于半导体、真空镀膜、超高真空样品台场景。
| ● 磁驱动 | ● 适用于10-11mbar超高真空环境 | ● 最高烘烤温度:150°C |
| ● 材质:超高真空兼容材料 | ● 升降行程:12mm/25mm/50mm | ● 可以任意方向安装 |
| ● 可锁定位置 | ● 可接受定制 |
| 品名 | 真空磁螺杆驱动( MVSD100 ) | ||
| 安装法兰 | CF100 | ||
| 法兰 尺寸 | 毫米 | 152 | |
| 英寸 | 6.0 | ||
| A 行程(mm) | 500 | 1000 | |
| B 总长(mm) | 880 | 1380 | |
| C 总长(mm) | 136 | 1236 | |
| 最大推力(N) | 250N | ||
| 重量 (kg) | 10kg | 13kg | |
| 型号 | MVSD100L500AL | MVSD100L1000AL | |

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