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二维平移台(XY)

二维平移台用于X和Y平面的移动,允许在任意方向安装。它具有两个平行法兰,一端固定,一端运动,上下法兰通过焊接波纹管连接实现超高真空密封,调整运动法兰相对于固定安装法兰的位置进行调节。

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规格说明
  压力范围1bar~10-11mbar   最高烘烤温度:150℃  焊接波纹管材质:SS316L
  两端安装法兰:CF法兰,螺纹孔  可接受定制


规格参数

品名二维平移台(XY)
安装法兰CF35FC65
法兰

尺寸

毫米70114
英寸2.754.5
XY行程 (mm)±7±10±12.5
XY驱动微分头微分头
电动微分头微分头
分辨率0.010.010.0050.010.005
A(mm)229262309.5217.5437
B(mm)271262228.5217.5346
C(mm)3866.566.58080
D(mm)929292185.5185.5
E(mm)
67////
重量(kg)4.34.66.58.010.5
型号XY35XY35MXY35AXY63MXY63A
订购编码30420000013042010001304201000230420100033042010004



产品尺寸

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标签: 超高真空MBE
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