复杂超高真空系统用远程等离子清洗源技术
费勉仪器(FERMI INSTRUMENTS)目前已成功开发出针对复杂真空系统碳污染原位清除的新一代远程等离子清洗源。低压气体受外界能量激发产生等离子体,包括电子、离子、中性原子或基团等不同成分,依靠活性粒子的“活化作用”与物体表面进行物理轰击和化学反应双重作用,将所需去除物质变为挥发性物质,即可经由抽真空去除。较之常规化学清洗,等离子表面处理不需要区分处理对象的基材类型,除去一些电敏感性设备,可用于金属、有机物等多种材料,不产生有害污染,综合成本低,此外还可以改善材料表面附着性能,因而广泛应用于等离子清洗、表面处理等领域。