费勉仪器开发的超高真空原位输运测量系统集成了分子束外延(MBE)、原位电极蒸镀、原位微区探针(M4PP)输运测量和原位互感磁化率测量等功能。具备低温(4K)、强磁场(9T)和超高真空(E-10mbar)可实现薄膜制备以及原位物性测量。探针托、互感托均基于标准的旗形样品托设计,可以实现与其他表征或测试设备互联。微区四探针(M4PP)输运测量和原位互感;两种实验手段结合,可以同事研究超导体的零电阻和完全抗磁性两大特征。
● 原位互感模块,可以无损探测抗磁信号,研究超导薄膜的超导转变 | ● 微区四探针模块,可以实现薄膜样品的原位电输运测量 | ● 原位电极蒸镀模块,可以在真空腔内味薄膜样品制作输运测量中所必须的探测电极 |
● 低温强磁场模块 | ● 压电陶瓷驱动探针托或者互感托靠近样品表面 | ● 外置光学显微镜进行实时监测 |
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