| ● 高压最高2kV，发射电流最大200mA | ● 可程控发射电流 | ● 内置水冷和挡板 |
| ● 真空内长度可定制 |
小型电子 束蒸发源 | 模块描述 | 配置参数 |
| 型号 | E38EB | |
| 尺寸 | 安装法兰 | DN38CF |
| 真空内长度 | 240mm | |
| 真空内外径 | 36mm | |
| 工作距离 | 80-160mm | |
| 坩埚 | 棒材尺寸 | 直径2.5mm，长度60mm |
| 坩埚容量 | 0.25cc | |
| 坩埚材质 | W, Ta | |
| 温度 | 最大灯丝电流 | C型 |
| 最大高压 | 2kV | |
| 最大发射电流 | 200mA | |
| 束流稳定性 | ≤0.05Å/s | |
| 最高烘烤温度 | 250℃ |
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