| ● 可伸缩调节机制 | ● 75mm行程线性驱动 | ● 角度调节机制：倾角范围：±3° |
| ● 固态射频电源，射频线缆 | ● 强制风冷和水冷 | ● 兼容超高真空，全金属密封 |
| 气体 | 能量 (eV) | 波长(nm) | 电流 (nA) | 光子数 Photons/s |
| He | 21.2 (He I) | 58.5 | 33.8 | 1.56E12 |
| He | 40.83 (He II） | 30.37 | 1.0 | 1.04E11 |
| Ne | 16.85 | 73.59 | 11 | 4.43E11 |
| Ar | 11.83 | 104.82 | 7.5 | 4.96E11 |
| Kr | 10.03 | 123.58 | 2.4 | 7.5E11 |
| Xe | 8.43 | 146.96 | 1.5 | 9.3E13 |
| HeI | HeII | Ne | Ar | Kr | Ar | |
| η | 13.5% | 6% | 15.5% | 9.5% | 2% | 0.01% |
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